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Keysight / Agilent 4156C 精密半导体参数分析仪为高级器件表征提供了高精度的实验室台式参数分析仪。Keysight/Agilent 4156C 分析仪卓越的低电流和低电压分辨率以及内置的准静态 CV 测量功能为未来扩展其他测量仪器奠定了坚实的基础。
Keysight / Agilent 4156C 分析仪的特性和技术指标包括:
内置四个高分辨率源/监视器单元,2个电压源单元;2电压监控单元
开发新的工艺技术并通过测量到 1 fA 和 0.2 uV 来评估材料
全开尔文;每个 HRSMU 的强制、感应和保护端子
执行准静态电容测量与电压测量
自动提取工艺参数,无需手动操作屏幕标记
使用超低泄漏 SMU 测量泄漏特性
使用集成脉冲发生器和选择器开关自动进行设备表征
使用内置应力模式执行晶圆上可靠性测试
使用图形用户界面执行点击式测量
在 Windows 环境下提供图形数据分析功能
旋钮扫描功能验证每个探头是否接触
待机模式无需外部电源
触发模式允许同步 AC/DC 测量
允许绘制和分析所有数据的 IBASIC 用户函数
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